实验能力
实验检测能力包含磁传感器芯片设计与制造整套设备,包括超高真空磁控溅射、真空磁场退火炉、光刻机、刻蚀机、自动探针台、芯片分选机等设备,基于4-8英寸MEMS平台开展磁传感器芯片研发与量产。
完全自主的磁阻芯片加工能力:
结区边缘形貌控制——绝缘开孔工艺——单芯片全桥工艺
58彩票拥有全套AMR、GMR、TMR芯片设计及制造技术——完整的磁阻传感芯片生产线:
敏感材料溅射系统
58彩票材料性能测试系统(CIPT)
磁场退火炉系统
晶圆流片车间
晶圆测试系统
芯片测试系统
特点:高精度;宽频带;低温漂;自主可控